常用标准

半导体晶圆厂设备的平均采购订单可能包含20个SEMI标准参考。以下系列为最常使用到之SEMI标准。

• 安全规范

  此系列包含工厂设备及燃料与程序之安全规范。

• 设备自动化

  此系列标准涵盖设备自动化和数据兼容性。

• 硅材料

  此系列标准包含有关材料纯度，基材定义等之广泛标准。

• 液体化学品

  液体化学品标准满足了围绕液体化学品和液体化学品分销的行业需求。

  • 用于评估液体化学品和用于容纳和运输它们的材料的分析方法。
  • 液体化学品的规格及其运输材料。
  • 污染相关问题和分析方法。
  • 液体化学品分配系统和组件的性能规格。
  • 子系统和组件的物理接口规范，以及定义，使用，处理和安装的指南。
  • 寻找更多的细节。