SEMI

SEMI 标准简介：
SEMI成立50年来，一直致力于国际标准的制定。SEMI全球有1,300,000多名志愿者、来自2260多家公司投身于SEMI国际产业技术标准活动，他们分别来自美洲、欧洲、日本、韩国、中国大陆及中国台湾地区等地，代表着全球各地产业的呼声和需求。目前SEMI全球已成立了20个标准委员会及216个工作小组为推动全球产业标准的制定贡献力量。目前已经制定了高达1010项、16大类的标准及安全相关准则，并广为全球IDM厂、晶圆厂、封装测试厂等应用。

SEMI S 系列标准介绍:
半导体设备SEMI认证评估是根据SEMI国际标准环境健康和安全委员会（EHS TC）制定的S系列全球性行业标准和准则，适用于半导体材料和制造设备，是半导体业界对设备的必备规格要求，可有效降低危害风险。 SEMI S 系列标准最早诞生于1986年，其中SEMI S2 于1991年发布出版，经过历年更新修订，2018年12月发布最新英文版本S2-0818E。半导体行业为了降低危险，采用非常多类别的防制与管理措施，SEMI S系列标准旨在为半导体生产设备提供环境、健康、安全方面的导则。内容涵盖半导体设备安装指导、废气处理、危险警告标签、液体加热系统、通风排气、资质评估、人机工程、危险评估、生产设备净化、安全指导手册、防火安全、安全联锁系统电子设计、电离辐射、激光辐射等级、噪音污染等级，SEMI 标准被广泛应用于半导体产品的生产、测试、集成。其中最典型的措施是在采购设备系统时，将SEMI S2安规认证、SEMI F47电压暂降、SEMI S23能效列为必备的规格要求。

SEMI S系列相关标准
SEMI S1	Safety Guideline for Equipment Safety Labels 设备安全标签安全指南
SEMI S2	Environmental, Health, and Safety Guideline for Semiconductor Manufacturing Equipment 半导体制造设备的安全卫生及环保标准
SEMI S3	Safety Guideline for Process Liquid Heating Systems 制程液体加热系统的安全标准
SEMI S4	Safety Guideline for the Separation of Chemical Cylinders Contained in Dispensing Cabinets 供应柜内化学品钢瓶隔离的安全标准
SEMI S5	Safety Guideline for Sizing and Identifying Flow Limiting Devices for Gases 气体钢瓶限流装置尺寸估量及鉴定的安全标准
SEMI S6	EHS Guideline for Exhaust Ventilation of Semiconductor Manufacturing Equipment 半导体制造设备排气通风的标准
SEMI S7	Safety Guideline for Evaluating Personnel and Evaluating Company Qualifications 半导体制造设备的安全卫生及环保评估报告的安全标准（评估人员和评估公司的资格）
SEMI S8	Safety Guidelines for Ergonomics Engineering of Semiconductor Manufacturing Equipment 半导体生产设备的人机工程的安全标准
SEMI S10	Safety Guideline for Risk Assessment and Risk Evaluation Process 风险评估及风险估算过程的安全标准
SEMI S12	Environmental, Health and Safety Guideline for Manufacturing Equipment Decontamination 设备除污标准
SEMI S13	Environmental, Health and Safety Guideline for Documents Provided to the Equipment User for Use with Manufacturing Equipment 为半导体设备使用者提供的安全健康及环保指南的文件
SEMI S14	Safety Guidelines for Fire Risk Assessment and Mitigation for Semiconductor Manufacturing Equipment 半导体制造设备的火灾风险评估与降低的安全指南
SEMI S16	Guide for Semiconductor Manufacturing Equipment Design for Reduction of Environmental Impact at End of Life 半导体制造设备寿命终了阶段减少环境冲击的设计标准
SEMI S17	Safety Guideline for Unmanned Transport Vehicle (UTV) Systems 无人搬运车（UTV）系统的安全标准
SEMI S18	Environmental, Health and Safety Guideline for Flammable Silicon Compounds 矽烷族气体处理的安全卫生及环保标准
SEMI S19	Safety Guideline for Training of Manufacturing Equipment Installation, Maintenance and Service Personnel 半导体制造设备的安装、保养及维修人员训练的安全标准
SEMI S21	Safety Guideline for Worker Protection 人员防护安全标准
SEMI S22	Safety Guideline for the Electrical Design of Semiconductor Manufacturing Equipment 半导体制造设备电气设计安全指南
SEMI S23	Guide for energy, Utilities, and materials use efficiency of semiconductor manufacturing equipment 半导体制造设备的能源、电力、原料的节约标准
SEMI S24	Safety Guideline for Multi-Employer Work Areas 多雇主工作区的安全标准
SEMI S25	Safety Guideline for Hydrogen Peroxide Storage & Handling Systems 过氧化氢贮存及搬运系统的安全标准
SEMI S26	Environmental, Health, and Safety Guideline for FPD Manufacturing System FPD制造系统的环境、卫生与安全标准
SEMI S27	Safety Guideline for the Contents of Environmental, Safety, and Health (ESH) Evaluation Reports 针对环境、安全与卫生（ESH）评估报告内容的安全指南
SEMI S28	Safety Guideline for Robots and Load Ports Intended for Use in Semiconductor Manufacturing Equipment 针对预计应用于半导体生产设备的机器人与之安全指南
SEMI S29	Guide for Fluorinated Greenhouse Gas (F-GHG) Emission Characterization and Reduction 针对含氟温室气体（F-GHG）排放特性描述与减量的指南
SEMI S30	Safety Guideline for Use of Energetic Materials in Semiconductor R&D and Manufacturing Processes
SEMI F14	Guide for the Design of Gas Source Equipment Enclosures 气源设备箱体设计规范
SEMI F15	Test Method for Enclosures Using Sulfur Hexafluoride Tracer Gas and Gas Chromatography 示踪气体测试
SEMI F42	Test Method for Semiconductor Processing Equipment Voltage Sag Immunity 半导体制程设备电压跌落抗扰度的测试方法
SEMI F47	Specification for Semiconductor Processing Equipment Voltage Sag Immunity 半导体制程设备电压跌落抗扰度的测试规格

SEMI标准认证的重要性
SEMI S 系列标准对半导体行业的安全和可持续发展具有深远的影响力。符合SEMI要求不仅符合了国际相关规定，也是主流芯片制造商引进机台设备的主要判别安全标准。SEMI 认证已得到国际晶圆大厂Intel、TSMC、TEL等普遍认可，SEMI认证已成为国际通行并被产业链广泛认可的通行证。国际晶圆厂家均要求设备及子系统厂商提供SEMI标准认证证书。中国本土领先半导体厂商NAURA、SME、AMEC等均已通过SEMI认证。符合SEMI标准不仅符合了国际相关规定，也是半导体产业的必要条件之一。

SEMI S2 设备安全评估：
SEMI S2针对半导体制造设备的环境、健康及安全标准要求，涉及电气、机械、防火、化学、辐射、噪音、防震等各方面的安全领域，代表了全球半导体行业的基本安全要求。

SEMI S6 半导体制造设备排气通风的标准：
排气通风若设计不合理，可能会造成人员伤亡、设备乃至整个工厂烧毁。设备供应商应提供有效设计的排气通风，以保护人员、设备和环境免受风险，排气通风的优化非常重要。

SEMI F47 半导体制程设备电压跌落抗扰度测试：
全球半导体制造业每年因电压跌落造成的经济损失超过1亿美元，为避免半导体制程中90%以上因电源压降产生的风险。